1.臺達交流伺服電機系統兩端和絲杠軸承座上的軸承磨損后間隙過大，或者軸承缺少潤滑脂后軸承滾動體和保持架磨損嚴重造成負載過重。軸承磨損后間隙過大會造成電機轉子中心和絲杠中心存在同軸度誤差，使機械系統產生抖動。軸承滾動體和保持架磨損嚴重會造成摩擦力增加導致“堵轉”，“堵轉”在不至于導致“過載報警”的情況下，由于負載過重，會增加伺服系統的響應時間產生震動
2.電機轉子不平衡，電機轉子的動平衡制造時有缺陷或使用后變差，就會產生形如“振動電機”一樣的振動源；
3.轉軸彎曲，轉軸彎曲的情況類似于轉子不平衡，除了會產生振動源也會產生電機轉子中心和絲杠中心的同軸度誤差，使機械傳動系統產生抖動；
4.臺達交流伺服電機聯軸器制造缺陷或使用后磨損會造成聯軸器兩部分的同軸度誤差，特別是使用鑄造的剛性聯軸器，由于本身的制造精度差，更容易產生同軸度誤差導致振動；
5.導軌的平行度在制造時較差會導致伺服系統無法到達指定位置到無法停留在指定位置，這時伺服電機會不停的在努力尋找位置和系統反饋間徘徊，使電機連續的振動；
6.絲杠與導軌平面的平行度誤差，絲杠在安裝過程中與導軌所在平面有平行度誤差也會使電機由于負載不均勻產生振動；
7.絲杠彎曲，臺達交流伺服電機絲杠彎曲后絲杠除了受到軸向推力外還會受到變化的徑向力，彎曲大時徑向力大，彎曲小時徑向力小，同樣這種不應該存在的徑向力也會使機械傳動系統產生振動。
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